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產品簡介
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用PTFE也稱：四氟、聚四氟乙烯、特氟龍、F4、Teflon；我公司的四氟產品是采用高純實驗級的聚四氟乙烯加工而成。四氟花籃適用于半導體、多晶硅、新能源、新材料、太陽能等行業；一般用于太陽能硅片擺放，清洗，酸浸泡等。
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2023-08-232021-07-302025-02-072020-12-14| 品牌 | 南京瑞尼克 | 應用領域 | 化工,石油,能源,電子 |
|---|---|---|---|
| 耐酸堿 | 氫氟酸等強酸強堿有機溶劑 | 本底值 | 金屬雜質本底值低，潔凈無污染 |
| 尺寸 | 尺寸可定制，配套超聲波清洗機，半導體設備等 |
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用
隨著半導體制造工藝的不斷進步，晶圓清洗作為關鍵環節之一，對清洗設備及材料的要求日益嚴格。聚四氟乙烯（PTFE）晶圓清洗花籃因其的材料特性，在半導體行業中得到了廣泛應用。本文將詳細探討PTFE晶圓清洗花籃的優勢及其在半導體行業中的重要作用。
優異的化學穩定性
PTFE材料具有的耐腐蝕性，能夠耐受強酸、強堿及各種有機溶劑的侵蝕。在晶圓清洗過程中，清洗劑通常具有強腐蝕性，而PTFE花籃能夠長期穩定使用，避免因材料腐蝕導致的污染問題。
出色的防粘性能
PTFE表面能極低，具有優異的防粘特性。在清洗過程中，晶圓表面不會與花籃粘連，減少了晶圓表面損傷的風險，同時避免了顆粒物殘留，確保清洗效果。
耐高溫性能
PTFE材料可在-200°C至260°C的溫度范圍內穩定工作，能夠適應高溫清洗工藝的需求。在半導體制造中，許多清洗步驟需要在高溫環境下進行，PTFE花籃能夠這一要求。
高純度和低污染
PTFE材料本身具有的純度，不會釋放任何雜質或離子，避免了晶圓表面的二次污染。這對于半導體制造中高潔凈度的要求至關重要。
晶圓清洗工藝
在半導體制造中，晶圓清洗是確保芯片性能的關鍵步驟。PTFE花籃廣泛應用于濕法清洗工藝中，如RCA清洗、超聲波清洗等。其耐腐蝕性和防粘性能能夠有效提高清洗效率，確保晶圓表面無污染。
化學機械拋光（CMP）后清洗
CMP工藝后，晶圓表面會殘留大量拋光液和顆粒物。PTFE花籃在CMP后清洗中能夠耐受強酸強堿清洗劑，同時避免晶圓表面劃傷，確保清洗質量。
高溫清洗與去膠工藝
在高溫清洗和去膠工藝中，PTFE花籃能夠穩定工作，不會因高溫變形或釋放有害物質，滿足半導體制造對高潔凈度和高穩定性的要求。
電鍍與表面處理
PTFE花籃還廣泛應用于晶圓的電鍍和表面處理工藝中。其耐腐蝕性和防粘性能能夠有效保護晶圓表面，避免在電鍍過程中產生缺陷。
實驗室與研發應用
在半導體研發和實驗室環境中，PTFE花籃因其高純度和化學穩定性，成為晶圓清洗和處理的理想選擇，能夠滿足實驗中對材料性能的苛刻要求。
特氟龍晶圓盒晶片承載器耐氫氟酸晶圓清洗用
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